(资料图片)

中新网广东新闻6月21日电 (李映民 李获)位于广东东莞松山湖高新区的松山湖材料实验室精密仪器研发团队近日成功自研台阶仪，实现了国产化台阶仪零的突破，加速国产替代。

台阶仪，又名探针式表面轮廓仪，用于样品表面从微米到纳米尺度的轮廓测量，是微电子、半导体、医疗、科学研究和材料科学等领域不可缺少的关键测量设备。长期以来，此类仪器被美国和日本厂商垄断，国内尚无厂商可提供同类产品。

2020年，松山湖材料实验室精密仪器研发团队对台阶仪研发项目发起挑战，2022年6月，正式机台投入使用。

“台阶仪研发拥有‘四个超’——超精细的运动控制，超精密位移传感，超低噪声信号采集以及超高平整度零部件。这四个关键技术，实现了台阶仪的整机开发。”松山湖材料实验室精密仪器研发团队负责人许智表示，该仪器从应用场景层面看，可以替代进口。

松山湖材料实验室精密仪器研发团队负责人许智表示，国产化台阶仪平均售价是进口产品的大概六到七成，可以降低用户的采购成本。未来，团队还将推出更经济的型号，预计售价为进口产品的一半左右。